сканирование РЭМ элемента исследуемого объекта (сканирование)

3.19 сканирование РЭМ элемента исследуемого объекта (сканирование): Перемещение электронного зонда вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновременной регистрацией информативного сигнала.

Источник: ГОСТ Р 8.636-2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки оригинал документа